研究方向和目标：
上海市激光束精细加工重点实验室主要从事激光束在材料表面（光刻材料、薄膜、基片）加工微米级或亚微米级的线条和图形的应用技术研究，开发各种实用的激光精细加工新技术、新工艺、新设备，以促进我国微电子工业，精密机械工业、光学工业、激光、光电子等高技术的发展。
研究激光聚焦光束(微米或亚微米光斑直径）采用各种扫描方法获得大尺寸，高分辨率和特殊编码的图形的方法、工艺和设备。
研究大尺寸细线条图案的光刻工艺。
制作特殊编码高精度圆光栅，平面光波导器件掩膜版、微透镜列阵，光电集成器件的特殊图形等。
激光全息和精细图形表面浮雕的大批量复制技术研究。
开展激光束微区加工工艺研究工作，如微区沉积金属薄膜，作内连接、切断，微区退火、掺杂、修正阻值等。
细线条、精细图形轮廓等测试技术研究。
实验室基本配备各种波长规格的激光器、各种高精度二维扫描设备和扫描元件、快速光调制器，可建立各种扫描方式的激光精细加工设备供实验使用；拥有激光光刻工艺设备，包括光刻胶涂布，显影，化学处理，超净清洗设备，精密电铸系统，微复制转移工艺和相应的测试设备、计量仪器，可接纳国内外科技结合生产力发展项目、研究人员在实验室开展相关研究工作。